የቫኩም ካርበሪንግ ስራውን በቫኩም ውስጥ ማሞቅ ነው.ከወሳኙ ነጥብ በላይ ባለው የሙቀት መጠን ላይ ሲደርስ ለተወሰነ ጊዜ ይቆያል, ኦክሳይድ ፊልምን ያስወግዳል እና ያስወግዳል, ከዚያም የተጣራ የካርበሪንግ ጋዝ ውስጥ ለካርቦሃይድሬት እና ለማሰራጨት ይሻገራል.የቫኩም ካርበሪዚንግ የካርቦሃይድሬት ሙቀት ከፍተኛ ነው, እስከ 1030 ℃, እና የካርበሪንግ ፍጥነት ፈጣን ነው.የካርቦራይዝድ ክፍሎች የላይኛው እንቅስቃሴ በጋዝ እና በዲኦክሳይድ ይሻሻላል.የሚቀጥለው ስርጭት ፍጥነት በጣም ከፍተኛ ነው።አስፈላጊው የንጣፍ ትኩረት እና ጥልቀት እስኪደርስ ድረስ የካርበሪንግ እና ስርጭት በተደጋጋሚ እና በተለዋዋጭነት ይከናወናሉ.
የቫኩም ካርበሪንግ ጥልቀት እና የገጽታ ትኩረትን መቆጣጠር ይቻላል;ይህ ብረት ክፍሎች ላዩን ንብርብር ያለውን metallurgical ባህርያት መቀየር ይችላሉ, እና ውጤታማ carburizing ጥልቀት ሌሎች ዘዴዎች ትክክለኛ carburizing ጥልቀት ይልቅ ጥልቅ ነው.